•   自动化兼容

•   晶圆与水平方向倾斜 20 度，使晶圆能够靠在其背面，从而减少移动和颗粒产生

•   光滑表面，易于清洁且颗粒生成少

•   键销和插座铰链可自由旋转，易于组装和拆卸

•   可堆叠

•   两载能力

•   兼容载体：除 A190 之外的所有 25 容量无手柄的载体

系列薄型工艺载体

•   外形尺寸：

E206-60-101-69F02 盒装

K182-60MB-97C02 载体